Blue Wave anuncia un "avance" en la investigación de diamantes CVD

Según el Dr. R.D. Vispute, CEO y CTO de Blue Wave Semiconductors, el sistema DEAR MPCVD representa el futuro de la investigación de diamantes CVD, ofreciendo una plataforma versátil y eficiente para la investigación exploratoria y aplicada en tecnologías basadas en diamante.

Blue Wave Semiconductors se especializa en el desarrollo de materiales y tecnologías avanzadas para aplicaciones de próxima generación, que incluyen detección cuántica, electrónica y materiales compuestos.

El diamante, un material de banda ancha, es una piedra angular para las tecnologías de próxima generación, incluida la generación de energía cuántica, la detección y la electrónica avanzada. Las películas delgadas de alta calidad para aplicaciones de dispositivos se pueden fabricar utilizando técnicas de Deposición Química de Vapor (CVD), dijo la compañía.

Entre ellas, los reactores de CVD de Plasma de Microondas (MPCVD) son los más utilizados para el crecimiento de diamantes. Para mejorar las propiedades de los diamantes para aplicaciones electrónicas y cuánticas, se requiere dopaje, que se puede lograr utilizando el crecimiento CVD in situ con el flujo de gas dopante o mediante el método de implantación iónica. Sin embargo, la implantación iónica introduce defectos en la red de diamante, lo que hace que el enfoque CVD sea más adecuado para la fabricación de dispositivos, la escalabilidad y el crecimiento de diamantes de alta calidad.

En esta dirección, Blue Wave Semiconductors ha diseñado y desarrollado una cavidad de microondas optimizada que admite un tubo de cuarzo de mayor diámetro con sellos de vacío de bombeo diferencial, múltiples ventanas ópticas para monitoreo de temperatura, proceso de plasma y crecimiento, y un escenario de muestra que crea plasma de microondas eficiente sobre el sustrato (tamaño de sustrato de hasta 12 mm x 12 mm). El sistema opera con diversas relaciones de flujo de gas, un amplio rango de presiones de deposición y temperaturas de sustrato que van desde 650 °C hasta 1100 °C, lo que permite la deposición de películas de diamante homoeopitaxiales, microcristalinas de grano grande y nanocristalinas para una variedad de aplicaciones.

"Ya sea que se trate de centros cuánticos o capas epitaxiales dopadas, DEAR MPCVD ofrece la precisión y confiabilidad que necesitamos. La terminación de hidrógeno ha agregado nuevas dimensiones a nuestros estudios basados ​​en diamantes, brindando resultados que superan las expectativas", dijo el Dr. R.D. Vispute, fundador de Blue Wave Semiconductors. "La capacidad de DEAR MPCVD de trabajar en un entorno de laboratorio de I+D es un cambio de juego en la investigación de diamantes CVD".

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